Halbleiterfertigung
Wegen der extremen Erschütterungsempfindlichkeit solcher Fertigungsanlagen beginnt die schwingungstechnische Bearbeitung mit Auswahl eines geeigneten Standortes mit möglichst geringer Erschütterungsvorbelastung.
Anschließend wird durch eine geeignete Gestaltung der Gebäudefundamente die Erschütterungsübertragung reduziert und die Gebäudeeigenfrequenzen und Gebäudestruktur so gestaltet, dass die unvermeidlichen Resonanzverstärkungen gering bleiben.
Letztlich sind auch alle gebäudeinternen Versorgungsanlagen schwingungsisoliert aufzustellen, wobei hochwirksame ein- oder zweistufige Schwingungsisolierungen verwendet werden.
Referenzliste (Auszug)
Angstrem 2
Erschütterungmessungen zur Dokumentation des Istzustandes
Integral Minsk
Erschütterungsmessungen zur Dokumentation des vorhandenen Zustandes
Interuniversitär Micro Electronica Center Leuven, IMEC 4 Extension
Schwingungstechnische Beratung zur Gebäudekonstruktion für eine Halbleiterfertigung (Schwingungsmessungen zur Ermittlung der Vorbelastung, Berechnungen der zu erwartenden Erschütterungen durch interne und externe Lasten (Gehen, Wind, Verkehr)
Bild: Berechnungsmodell (FE-Modell)
IMEC 4 Extension Balance and Vibration Isolation Specification
Beschreibung der erforderlichen Maßnahmen zur Begrenzung der Erschütterungsübertragungen durch Betrieb versorgungstechnischer Einrichtungen
International Iberian Nanotechnologie Laboratory, INL Braga 
Schwingungsmessungen auf dem Baugelände, Festlegung der Baukonstruktion zur Minimierung der Erschütterungsübertragungen von außen, Prognose der Restschwingungen, Beurteilung der Berechnungsergebnisse
Bild: Finite Elemente Modell des Gebäudes
INL Braga Balance and Vibration Isolation Specification
Nano-Technologiepark Porto Erschütterungsmessungen, Schwingungsberechnung für das Gebäude und Festlegung baulicher Maßnahmen zur Erschütterungsreduzierung
Laser-Scriber / Fa. Silas
Aufstellung einer Schwingungsspezifikation
Angstrem Moskau
Balance and Vibration Isolation Specification
Santa Catarina Brasilien
Erschütterungsmessungen im Zusammenhang mit der Auswahl eines geeigneten Standortes für eine Halbleiterfertigung
CEITEC, Porto Alegre
Erschütterungsmessungen nach Abschluß aller Bauarbeiten
DNP Italie 
Unterkonstruktion für Atlas
Bild: Starre Unterkonstruktion mit Eigenfrequenzen über f = 100 Hz zur Aufstellung des schwingungsempfindlichen Tools
Infineon Ringstrasse Dresden
Schwingungsmessungen, Berechnungen und Verbesserungsmaßnahmen für eine Deckenkonstruktion zur Aufstellung eines schwingungsempfindlichen Steppers
DNP Italien
Erschütterungsmessungen im Bereich der Halbleiterfertigung als Basis für die Auslegung der Stützkonstruktionen für Tools
Horizon
Voruntersuchung zu schwingungstechnisch günstigen Gebäudevarianten
CEITEC, Porto Alegre
Kontrollmessungen der Erschütterungsimmissionen auf Gründungspfählen
Minas Gerais, Brasilien
Erschütterungsmessungen, Vorberechnung der erreichbaren Erschütterungsstärke (vibration criterias) in Gebäuden in Abhängigkeit von deren Bauweise
DNP Italien
Pedestal for CD-SEM
Pedestal for SPR 6300
Toolfoundations for SLF + AIMS
Unterkonstruktion für KLA 5xx Serie
CEITEC, Porto Alegre
Erschütterungsmessungen und Prognoseberechnung der zu erwartenden Erschütterungen auf der Produktionsebene
CEITEC, Porto Alegre
Balance and Vibration Isolation Specification, Beschreibung der erforderlichen Maßnahmen zur Begrenzung der Erschütterungsübertragungen durch Betrieb versorgungstechnischer Einrichtungen
Infineon RDC
Statiktabellen für die Fundamentkonstruktion
Unterkonstruktion für imp 306-01
Unterkonstruktion für mesc 17-01
Unterkonstruktion für mesc 65-01
Unterkonstruktion für Zeiss Supra
Unterkonstruktion für Nikon-Stepper
Zelenograd Moskau
Erschütterungsmessungen im vorhandenen Gebäude"
CDTA Halbleiterforschungslabor Algier
Baudynamische Beratung für ein Halbleiterlabor zur Begrenzung der Erschütterungen durch interne Quellen, externen Verkehr und Windeinwirkungen
ST Microelectronics – Catania, M6
Festlegung der Anforderungen zur Begrenzung der Erregerkräfte von versorgungstechnischen Anlagen und der erforderlichen Schwingungsisolierungen
Communicant Frankfurt Oder
Entwicklung von Stützkonstruktionen zur Aufstellung von schwingungsempfindlichen Anlagen im Bereich der Halbleiterfertigung"
Silicon Vision Dresden
Schwingungstechnisch Beratung zur Verstärkung einer bestehenden Deckenkonstruktion für die Einrichtung einer Halbleiterproduktion"
M+W Utrecht
Schwingungsmessungen im Bereich einer geplanten Halbleiterfabrikation mit Vorberechnung der Schwingungseinwirkungen auf die Fertigungsebene des geplanten Gebäudes
ST Microelectronics M9 Extension (Catania)
Balance and vibration specification
für die Erweiterung der bestehenden Fabrikation von Halbleitern
ATMEL Heilbronn
Schwingungsmessungen im Bereich einer geplanten Halbleiterfabrikation und Berechnung der zu erwartenden Schwingungseinwirkungen auf die Fertigungsebene des geplanten Gebäudes
Fraunhofer Institut für Siliziumforschung
Schwingungstechnische Beratung zur Gebäudekonstruktion für eine Halbleiterfertigung (Schwingungsmessungen zur Ermittlung der Vorbelastung, Berechnungen der zu erwartenden Erschütterungen durch interne und externe Lasten (Gehen, Wind, Verkehr)
Du Pont Photo-Masks, Corbeille, Paris
Messtechnische Untersuchung der Vorbelastung durch Erschütterungen eines Bestandsgebäudes
SENSONOR
Oslo Messtechnische Untersuchung der Vorbelastung eines Baugeländes für eine Halbleiterfabrik in Oslo, Norwegen
ASM Graz
Schwingungsmessungen im Bereich einer geplanten Halbleiterfabrik