ZUCKRIEGL ENGINEERING GMBH
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Halbleiterfertigung

Erschütterungsschutz

 

Wegen der extremen Erschütterungsempfindlichkeit solcher Fertigungsanlagen beginnt die schwingungstechnische Bearbeitung mit Auswahl eines geeigneten Standortes mit möglichst geringer Erschütterungsvorbelastung.

 

Anschließend wird durch eine geeignete Dimensionierung der Gebäudekonstruktion die Erschütterungsübertragung reduziert und die Gebäudeeigenfrequenzen und Gebäudestruktur so gestaltet, dass die unvermeidlichen Resonanzverstärkungen gering bleiben.

 

Letztlich sind auch alle  gebäudeinternen Versorgungsanlagen schwingungsisoliert zu lagern, wobei hochwirksame ein- oder zweistufige Schwingungsisolierungen verwendet werden.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

(Bilder: Messergebnisse auf dem Baugelände in Wasserfalldarstellung, Erschütterungen durch Lkw-Verkehr im Bereich von f = 10 Hz

Finite Elemente Gebäudemodell

Messungen nach Fertigstellung)

Referenzliste (Auszug)

Angstrem 2
Erschütterungmessungen zur Dokumentation des Istzustandes

Integral Minsk
Erschütterungsmessungen zur Dokumentation des vorhandenen Zustandes

 

Interuniversitär Micro Electronica Center Leuven, IMEC 4 Extension
Schwingungstechnische Beratung zur Gebäudekonstruktion für eine Halbleiterfertigung (Schwingungsmessungen zur Ermittlung der Vorbelastung, Berechnungen der zu erwartenden Erschütterungen durch interne und externe Lasten (Gehen, Wind, Verkehr)

IMEC 4 Extension Balance and Vibration Isolation Specification
Beschreibung der erforderlichen Maßnahmen zur Begrenzung der Erschütterungsübertragungen durch Betrieb versorgungstechnischer Einrichtungen

 

International Iberian Nanotechnologie Laboratory, INL Braga
Schwingungsmessungen auf dem Baugelände, Festlegung der Baukonstruktion zur Minimierung der Erschütterungsübertragungen von außen, Prognose der Restschwingungen, Beurteilung der Berechnungsergebnisse

 

INL Braga Balance and Vibration Isolation Specification
Nano-Technologiepark Porto Erschütterungs-messungen, Schwingungsberechnung für das Gebäude und Festlegung baulicher Maßnahmen zur Erschütterungsreduzierung

Laser-Scriber / Fa. Silas
Aufstellung einer Schwingungsspezifikation

Angstrem Moskau
Balance and Vibration Isolation Specification

Santa Catarina Brasilien
Erschütterungsmessungen im Zusammenhang mit der Auswahl eines geeigneten Standortes für eine Halbleiterfertigung

CEITEC, Porto Alegre
Erschütterungsmessungen nach Abschluß aller Bauarbeiten

 

DNP Italie
Unterkonstruktion für Atlas

Starre Unterkonstruktion mit Eigenfrequenzen über f = 100 Hz zur Aufstellung des schwingungsempfindlichen Tools

Infineon Ringstrasse Dresden
Schwingungsmessungen, Berechnungen und Verbesserungsmaßnahmen für eine Deckenkonstruktion zur Aufstellung eines schwingungsempfindlichen Steppers

DNP Italien
Erschütterungsmessungen im Bereich der Halbleiterfertigung als Basis für die Auslegung der Stützkonstruktionen für Tools

Horizon
Voruntersuchung zu schwingungstechnisch günstigen Gebäudevarianten

CEITEC, Porto Alegre
Kontrollmessungen der Erschütterungsimmissionen auf Gründungspfählen

Minas Gerais, Brasilien
Erschütterungsmessungen, Vorberechnung der erreichbaren Erschütterungsstärke (vibration criterias) in Gebäuden in Abhängigkeit von deren Bauweise

DNP Italien
Pedestal for CD-SEM
Pedestal for SPR 6300
Toolfoundations for SLF + AIMS
Unterkonstruktion für KLA 5xx Serie

CEITEC, Porto Alegre
Erschütterungsmessungen und Prognoseberechnung der zu erwartenden Erschütterungen auf der Produktionsebene

CEITEC, Porto Alegre
Balance and Vibration Isolation Specification, Beschreibung der erforderlichen Maßnahmen zur Begrenzung der Erschütterungsübertragungen durch Betrieb versorgungstechnischer Einrichtungen

Infineon RDC
Statiktabellen für die Fundamentkonstruktion
Unterkonstruktion für imp 306-01
Unterkonstruktion für mesc 17-01
Unterkonstruktion für mesc 65-01
Unterkonstruktion für Zeiss Supra
Unterkonstruktion für Nikon-Stepper

Zelenograd Moskau
Erschütterungsmessungen im vorhandenen Gebäude"

CDTA Halbleiterforschungslabor Algier
Baudynamische Beratung für ein Halbleiterlabor zur Begrenzung der Erschütterungen durch interne Quellen, externen Verkehr und Windeinwirkungen

ST Microelectronics – Catania, M6
Festlegung der Anforderungen zur Begrenzung der Erregerkräfte von versorgungstechnischen Anlagen und der erforderlichen Schwingungsisolierungen

Communicant Frankfurt Oder
Entwicklung von Stützkonstruktionen zur Aufstellung von schwingungsempfindlichen Anlagen im Bereich der Halbleiterfertigung"

Silicon Vision Dresden
Schwingungstechnisch Beratung zur Verstärkung einer bestehenden Deckenkonstruktion für die Einrichtung einer Halbleiterproduktion"

M+W Utrecht
Schwingungsmessungen im Bereich einer geplanten Halbleiterfabrikation mit Vorberechnung der Schwingungseinwirkungen auf die Fertigungsebene des geplanten Gebäudes

ST Microelectronics M9 Extension (Catania)
Balance and vibration specification für die Erweiterung der bestehenden Fabrikation von Halbleitern

ATMEL Heilbronn
Schwingungsmessungen im Bereich einer geplanten Halbleiterfabrikation und Berechnung der zu erwartenden Schwingungseinwirkungen auf die Fertigungsebene des geplanten Gebäudes
 
Fraunhofer Institut für Siliziumforschung
Schwingungstechnische Beratung zur Gebäudekonstruktion für eine Halbleiterfertigung (Schwingungsmessungen zur Ermittlung der Vorbelastung, Berechnungen der zu erwartenden Erschütterungen durch interne und externe Lasten (Gehen, Wind, Verkehr)

Du Pont Photo-Masks, Corbeille, Paris
Messtechnische Untersuchung der Vorbelastung durch Erschütterungen eines Bestandsgebäudes

SENSONOR
Oslo Messtechnische Untersuchung der Vorbelastung eines Baugeländes für eine Halbleiterfabrik in Oslo, Norwegen
 
ASM Graz
Schwingungsmessungen im Bereich einer geplanten Halbleiterfabrik

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Betriebsmodalanalyse

Gemessene Schwingungsform einer Stahl-Portalkonstruktion mit Schweißrobotern

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